蜜桃视频APP网站入口表麵塗層處理化學氣相層積現像

化學氣相沉積碳化矽塗層蜜桃视频APP网站入口盤技術

GaN材料的研究與應用是目前全球半導體研究的前沿和熱點，是研製微電子器件、光電子器件的新型半導體材料。GaN材料的製備主要采用氣相外延生長的方法，蜜桃视频APP网站入口盤是外延生長GaN晶體的必備耗材。由於蜜桃视频APP网站入口材料在高溫、腐蝕性氣體環境下會發生腐蝕掉粉現象，從而將粉體雜質引入到單晶材料中。因此，塗覆高純度、均勻致密的保護塗層是解決該問題的唯一方法。經化學氣相沉積碳化矽塗層後的蜜桃视频APP网站入口盤具有耐高溫、抗氧化、純度高、耐酸堿鹽及有機試劑等特性，滿足高純度單晶生長環境的需要，國外已將其作為一種新耗材在MOCVD外延生長設備上大規模使用，但國內還沒有這一相關的產品。

國防科技大學從2000年開始，一直致力於化學氣相沉積碳化矽塗層製備技術應用研究，突破了碳化矽塗層製備的各項關鍵技術，具備了大尺寸（直徑700mm）碳化矽塗層製備能力，獲得國家發明專利授權1項。本實驗室製備的碳化矽塗層的特點是：（1）高溫抗氧化：溫度高達1600℃時抗氧化性能仍然非常好；（2）純度高、均勻、致密、顆粒細、無缺陷；（3）耐衝刷；（4）抗腐蝕性：耐酸、堿、鹽及有機試劑。該技術在蜜桃视频APP网站入口盤方麵具有很好的推廣應用前景。

碳化矽塗層蜜桃视频APP网站入口盤是各半導體廠家必不可少的耗材，目前，該產品全部依賴進口，價格昂貴，且受製於人。因此，本實驗室開發的碳化矽塗層蜜桃视频APP网站入口盤技術一旦實現產業化，將對我國的半導體蜜桃AV成人永久免费具有重要的戰略意義和市場經濟價值。