碳蜜桃视频APP网站入口材料的特性及其在單晶矽和多晶矽工業上的應用

碳蜜桃视频APP网站入口材料的特性及其在單晶矽和多晶矽工業上的應用

1.概述
1.1兩大類別的蜜桃视频APP网站入口
本報告，是在圍繞半導體、光伏產業用（即電子工程用）蜜桃视频APP网站入口製品的品種、生產製造過程、產品性能、生產廠家、具體應用領域情況、市場規模及發展趨勢等方麵做的蜜桃AV成人永久免费調研的基礎上編寫的。
蜜桃视频APP网站入口（graphite）材料的來源分為天然蜜桃视频APP网站入口和人造蜜桃视频APP网站入口兩類。盡管天然蜜桃视频APP网站入口優異的理化性能使之在各個科技工程領域受到重視和廣泛的應用，但是天然蜜桃视频APP网站入口的粉體形態使其應用受到了很大限製，因此發展出人造蜜桃视频APP网站入口，成為一項具有廣闊市場前景的重要任務。本報告所涉及、調研的半導體、光伏產業用蜜桃视频APP网站入口製品，主要就是由人造蜜桃视频APP网站入口材料作為原料製出的。
天然蜜桃视频APP网站入口最常見於變質岩中，是有機碳物質變質形成的，煤層經熱變質也可形成蜜桃视频APP网站入口。有些火成岩中也可出現少量蜜桃视频APP网站入口。天然蜜桃视频APP网站入口外形一般為鱗片狀或顆粒狀的粉體。自然界中純淨的蜜桃视频APP网站入口是沒有的。它往往含有Si02、Al203、Fe0、CaO、P2O5、Cu0等雜質。這些雜質常以石英、黃鐵礦、碳酸鹽等礦物形式出現。此外，還有水、瀝青、CO2、H2、CH4、N2等氣體部分。
天然蜜桃视频APP网站入口的結晶形態不同的蜜桃视频APP网站入口礦物，具有不同的工業價值和用途。可將工業應用的天然蜜桃视频APP网站入口根據結晶形態不同分為三類，即致密結晶狀蜜桃视频APP网站入口、鱗片蜜桃视频APP网站入口、隱晶質蜜桃视频APP网站入口。
我國具有豐富的天然蜜桃视频APP网站入口資源，特別是晶質的鱗片蜜桃视频APP网站入口，儲量、產量以及國際貿易量均居世界首位，堪稱蜜桃视频APP网站入口大國。世界已探明的晶質蜜桃视频APP网站入口儲量2.3億t，我國占有1.7億t，世界遠景儲量7億t,我國為4億t。
目前產業界內大量使用的成形蜜桃视频APP网站入口都是人造蜜桃视频APP网站入口（Synthetic Graphite，日文：“人造黑鉛”）材料。人造蜜桃视频APP网站入口是其石油焦、煤類、硬瀝青焦等為主要原料，經過3000℃左右高溫蜜桃视频APP网站入口化，再添加特種添加劑製成製作蜜桃视频APP网站入口製品的原材料。因天然蜜桃视频APP网站入口的粉體形態使其應用受到很大限製，因此發展出人造蜜桃视频APP网站入口製品及相關產業成為今後重要方麵。
1.2蜜桃视频APP网站入口在工業領域的廣泛應用
蜜桃视频APP网站入口有廣闊的應用市場，它在許多工業領域中得到應用。
碳-蜜桃视频APP网站入口的應用領域例：鋼鐵工業、有色金屬工業、高溫技術、汽車工業、賽車/賽艇用品、體育裝備、工業織物、航天航空、衛星技術、防禦技術、海事技術、能源工業、太陽能技術、發電技術、核技術、化學工業、環境保護、製藥技術、化肥工業、機械工程、工藝設備、密封技術、工具製造、塑料、玻璃陶瓷、造紙、建築技術、家用電器、電子工業、半導體技術、電工技術、醫用工業、測量和試驗工業。
碳-蜜桃视频APP网站入口的應用產品例：蜜桃视频APP网站入口電極、陰極塊、爐襯、碳電極、電子半導體用碳蜜桃视频APP网站入口、工業用碳蜜桃视频APP网站入口、高溫用碳蜜桃视频APP网站入口、汽車機械用碳蜜桃视频APP网站入口、電工用蜜桃视频APP网站入口、防腐工藝技術、碳纖維、刹車片、工業複合材料、航空航天複合材料、燃料電池組件、天然膨脹蜜桃视频APP网站入口。
高科技產業發展為高附加值的優質高純蜜桃视频APP网站入口產品帶來了市場發展的機遇。蜜桃视频APP网站入口材料在高速、耐磨、防腐、節能、超小型等高科技應用領域中又有了新的應用。有關統計資料預測，目前我國每年還大量的進口氟化蜜桃视频APP网站入口、高分子蜜桃视频APP网站入口複合材料、高分子蜜桃视频APP网站入口複合材料中添加劑蜜桃视频APP网站入口微粉（如著色劑、強化劑、導電劑）、導電用蜜桃视频APP网站入口、潤滑脂等。特別是半導體材料的發展、新能源（如太陽電池）的發展都在製造過程中需求蜜桃视频APP网站入口製品。目前在電子工程用的許多蜜桃视频APP网站入口製品還需要大量的依靠國外供應。這些市場的需求，導致蜜桃视频APP网站入口近年來進口大幅的增加。這無疑是蜜桃视频APP网站入口工業經濟發展的良機，也是蜜桃视频APP网站入口企業開拓新市場的重大機遇。
目前在電子產品應用市場中，需求呼聲最高的一類蜜桃视频APP网站入口製品是具有高強度、高密度、高純度（含碳量在99.99%以上）的蜜桃视频APP网站入口製品（簡稱為“三高蜜桃视频APP网站入口”）。三高蜜桃视频APP网站入口屬於“特種蜜桃视频APP网站入口”，它很大部分的產品是人造碳-蜜桃视频APP网站入口為原料而製成的，其工藝方法很大部分采用等靜壓工藝法，生產出的產品為各向同性蜜桃视频APP网站入口。例如，應用於半導體生產的直拉單晶矽爐熱場中的特種蜜桃视频APP网站入口，就是絕大多數多采用高純細顆粒的等靜壓各向同性蜜桃视频APP网站入口製成的。
1.3蜜桃视频APP网站入口在半導體、光伏產業領域的應用
1.3.1應用市場發展擴大的過程
半導體的發展與蜜桃视频APP网站入口材料在半導體工業中的應用是分不開的。在半導體工業中，直拉單晶爐的加熱係統大量采用高純蜜桃视频APP网站入口材料。還在半導體矽片加工（包括區熔、外延、外形加工等）中作為輔助工具、部件；在半導體矽片用多晶矽材料的生產中為輔助工具、部件。電子工程用蜜桃视频APP网站入口製品，首先是實現在半導體工業中得到應用。進入21世紀，光伏產業得到了迅速的發展，太陽能電池用多晶矽錠材料在產量與市場上都出現了突飛猛進的增大，這也給蜜桃视频APP网站入口製品在光伏產業領域提供了一個發展前景廣闊的新市場。太陽能電池矽片所需要的重要原材料鑄錠多晶矽，在其生產裝置鑄錠爐中開始大量的采用高純、優質的蜜桃视频APP网站入口材料。
1.3.2蜜桃视频APP网站入口製品的半導體應用市場概況
直拉單晶爐內使用的蜜桃视频APP网站入口部件是一類易耗件，它由各種高純蜜桃视频APP网站入口加工而成。例如其中的蜜桃视频APP网站入口坩堝及其他蜜桃视频APP网站入口部件采用了高純細顆粒結構蜜桃视频APP网站入口；蜜桃视频APP网站入口加熱器采用了高純各向同性蜜桃视频APP网站入口；蜜桃视频APP网站入口保溫罩和蜜桃视频APP网站入口蓋板采用高純中顆粒結構的蜜桃视频APP网站入口。
1.3.3蜜桃视频APP网站入口製品的太陽電池應用市場概況
在生產鑄錠多晶矽設備上，多個組件是需要蜜桃视频APP网站入口材料。特別是鑄錠爐加熱器中使用的加熱材料----高純蜜桃视频APP网站入口，以及所用的隔熱材料---高純碳氈隔熱材料，都是目前鑄錠多晶矽設備重要的、必不可少的配套材料。
由於鑄錠爐加熱器的加熱溫度很高（超過1600℃），它的加熱材料又要求不能與矽料反應、不對矽料造成汙染，可長期在真空及惰性氣氛中使用。符合使用條件可供選擇的加熱器有金屬鎢、鉬和非金屬蜜桃视频APP网站入口等。由於鎢、鉬價格昂貴，加工困難，而蜜桃视频APP网站入口來源廣泛，可加工成各種形狀。另外，蜜桃视频APP网站入口具有熱慣性小、可以快速加熱，耐高溫、耐熱衝擊性好，輻射麵積大、加熱效率高、且基本性能穩定等特點。正因為如此，蜜桃视频APP网站入口材料已成為了鑄錠爐加熱器中首選的加熱材料。鑄錠爐加熱器對於隔熱材料有著嚴格的要求。它必須是耐高溫、密度低、導熱小、蓄熱量少、隔熱效果好、放氣量少、重量輕、膨脹係數小的材料。因此在眾多的耐火保溫材料中以高純碳氈最為理想。
上述所舉例的兩類在半導體、光伏產業領域應用的蜜桃视频APP网站入口製品，幾年前還是主要是由國外全部進口（或者是由我國內地的外資企業提供）。但由於我國蜜桃视频APP网站入口蜜桃AV成人永久免费、半導體材料蜜桃AV成人永久免费、電子工業設備蜜桃AV成人永久免费的共同努力，我國自行生產的這兩類蜜桃视频APP网站入口配套無論在製造技術上，還是在應用技術上都取得了巨大的進步，市場的格局也得到了很大的改變。這也給我國蜜桃视频APP网站入口蜜桃AV成人永久免费在此方麵開拓新市場提供了新機遇。但同時也需要看到，在我國大規格、高純各向同性蜜桃视频APP网站入口的市場在迅速增大的同時，我國在此方麵的製造技術仍有不適應的方麵，技術仍與國外先進國家有很大的差距。蜜桃视频APP网站入口製品作為微電子、光伏產業的重要基礎裝備材料，需要我國國內不斷在技術獲得進步，與半導體蜜桃AV成人永久免费、光伏電池用矽材料製造蜜桃AV成人永久免费加強合作，進一步投資發展為其配套的高檔蜜桃视频APP网站入口製品，是一件勢在必行的重要工作。
1.3.4碳-碳纖維複合材料在半導體、光伏產業領域的應用
蜜桃视频APP网站入口製品在半導體、光伏產業領域應用就使用碳蜜桃视频APP网站入口類材料的類型來講，有關業界專家認為，可以將它所用類型分為三類，或說是三個發展的階段。第一類型為模壓（或擠壓、或振動）成型工藝法的蜜桃视频APP网站入口製品。這類蜜桃视频APP网站入口製品在半導體、光伏產業領域應用的碳蜜桃视频APP网站入口材料產品群中，現在占有很小的一部分。第二類型為等靜壓成型工藝法的各向同性高純蜜桃视频APP网站入口製品。在目前的半導體、光伏產業領域中它得到最廣泛的應用。它占世界整個半導體、光伏產業領域應用的蜜桃视频APP网站入口製品量的約有80%以上。第三類型為碳-碳纖維複合材料。這是一類在半導體、光伏產業領域應用中替代蜜桃视频APP网站入口材料的更新型的材料及製品。
采用碳-碳纖維複合材料可以看作在半導體、光伏產業領域中作為加熱器、隔熱材料等上應用的第三階段，也是一個更高的技術發展階段。但是並不講目前使用的各向同性高純蜜桃视频APP网站入口製品就在以後被淘汰、全部被碳-碳纖維複合材料所替代。有關業界專家認為，今後在半導體、光伏產業領域中應用的兩類材料及製品誰也不能替代誰。預測在一、二十年以後，會發展成“各占半壁江山”的市場格局。
碳-碳複合材料是炭纖維增強炭基體複合材料。它具有質量輕、耐燒蝕性好、抗熱衝擊性好、損傷容限高、高溫強度高、可設計性強等突出特點，因此，它在航天、航空、原子能等許多領域有較廣泛的應用。且複合材料可以通過選擇纖維的種類、結構、數量和基體前驅體以及工藝條件來製備符合特定用途所要求的性能和形狀，因此其應用範圍越來越廣泛，也越來越受到人們的重視。碳-碳複合材料強度遠遠大於蜜桃视频APP网站入口的，其尺寸穩定性好、耐衝擊、抗熱震性能好，其綜合機械性能優於蜜桃视频APP网站入口。該材料可以通過純化處理，使金屬雜質含量可控製在5ppm以下。
用作半導體、光伏產業用碳-碳複合材料熱場產品，與傳統蜜桃视频APP网站入口產品比較，具有以下突出優點：﹙1﹚可以大幅度延長產品使用壽命，減少更換部件的次數，從而提高設備的利用率，減少維修成本；﹙2﹚與傳統蜜桃视频APP网站入口產品相比，可以做得更薄，從而可以利用現有設備生產尺寸更長、更大直徑的產品，可節約大量新設備投資費用，也使得其溫度場更均勻；﹙3﹚由於其抗熱震性好，在反複高溫熱振條件下不易產生裂紋，從而避免了溫度場的變化；﹙4﹚在拉製大直徑的產品時，傳統蜜桃视频APP网站入口熱場產品成型困難，而由於碳-碳複合材料具有優異的性能，目前國外拉製大直徑的產品時，較多地采用了碳-碳複合材料熱場產品；﹙5﹚在直拉單晶爐采用碳-碳複合材料作為隔熱﹙熱屏﹚，由於它的保溫效果好，可比采用蜜桃视频APP网站入口材料節約一定的能耗﹙有的研究成果提出可節省20%電能﹚。
根據中國電子材料蜜桃AV成人永久免费協會的調研，盡管世界及我國在碳-碳複合材料替代在半導體、光伏產業用蜜桃视频APP网站入口製品上取得不小的進展，但它普遍還存在著如下的問題：﹙1﹚製造成本目前還很高﹙一般是蜜桃视频APP网站入口製品的一倍，甚至更高些﹚。﹙2﹚碳-碳纖維複合材料在製造中生產周期長，實現大批量生產速度低下。﹙3﹚就國內的碳-碳纖維複合材料產品製造講，國內的碳纖維材料仍基本不能生產，需靠國外進口。﹙4﹚由於製造半導體、光伏產業用碳-碳纖維複合材料研發、生產的曆史還很短，在工藝上的成熟程度不夠，因此某些項性能上仍有待提高。
 本調研報告，未包括半導體、光伏產業用碳-碳複合材料部分，又因它的發展，對今後的半導體、光伏產業用蜜桃视频APP网站入口製品今後市場走勢是有一定影響的，為此在報告本節內，加入此方麵的內容闡述。
 
2.半導體、光伏產業用蜜桃视频APP网站入口製品概述
2.1蜜桃视频APP网站入口的結構特性
碳﹙C﹚元素有三種異構體：一種是無定形碳，如木炭、焦炭、炭黑等；另兩種是結晶形碳，即蜜桃视频APP网站入口和金剛石。無定形碳經高溫處理可轉化為蜜桃视频APP网站入口。蜜桃视频APP网站入口在催化劑作用和高壓、高溫條件下又可轉化為金剛石。這也是人造蜜桃视频APP网站入口和人造金剛石的生產方法。
碳元素的三種異構體，其原子的空間排列各不相同。蜜桃视频APP网站入口屬六方晶係，各層麵由六角形環構成，層麵與層麵平行，呈有序的重疊晶體結構；金剛石屬立方晶係的四麵體結構；而無定形碳雖有微晶，但沒有像蜜桃视频APP网站入口那樣的有序排列。
蜜桃视频APP网站入口﹙graphite﹚是碳質元素結晶礦物，它的結晶格架為六邊形層狀結構。每一網層間的距離為0.3354nm。
蜜桃视频APP网站入口晶體呈一種層狀點陣，由許多碳原子，碳原子為sp2雜化態，它們互相平行重疊而成。最常見的蜜桃视频APP网站入口晶體多屬於六方晶係。晶體結構具有明顯的各向異性。
 
2.2蜜桃视频APP网站入口的主要物理特性
表2-1 蜜桃视频APP网站入口的主要物理特性分子量
項目 主要物理特性
外觀 色澤黑灰色，質軟，具有金屬光澤。
英文名稱 Graphite
分子式 C
分子量 12.01
CAS登錄號 7782-42-5
EINECS登錄號 231-955-3
莫氏硬度為 1～2
比重 1．9～2.3
容重 一般為1.5～1.8
溶點﹙真空下﹚ 在3000℃時才開始軟化的趨向溶融狀態
比表麵積 集中在1-20m2/g範圍
蜜桃视频APP网站入口質軟，呈黑灰色，有金屬光澤，有油膩感，可汙染紙張。
蜜桃视频APP网站入口硬度為1～2，沿垂直方向隨雜質的增加其硬度可增至3～5。比重為1.9～2.3。比表麵積範圍集中在1-20m2/g﹙由北京金埃譜科技生產的全自動F-Sorb2400比表麵積儀BET方法測試﹚。在隔絕氧氣條件下，其熔點在3000℃以上，是最耐溫的礦物之一。
蜜桃视频APP网站入口具有良好的導電、導熱、抗腐蝕、耐輻射、耐高低溫等特性，具有良好的潤滑性，性脆，強度較低。
2.3半導體、光伏產業用蜜桃视频APP网站入口製品的主要原料來源
半導體工業用蜜桃视频APP网站入口製品絕大多數采用人造蜜桃视频APP网站入口作為原料製成。製造人造蜜桃视频APP网站入口有兩類原材料。一類是石油焦，另一類是煤瀝青。石油焦製出的蜜桃视频APP网站入口製品，具有蜜桃视频APP网站入口化高、電阻小、表麵潤滑度高的特點。煤瀝青製出的蜜桃视频APP网站入口製品，在機械強度上較高。作為人造蜜桃视频APP网站入口的主要原材料是煆燒後石油焦材料。石油焦的煆燒起到了進一步去除雜質、降低水分、揮發份的目的。
半導體工業用蜜桃视频APP网站入口製品有較低灰分、高純的性能要求，因此在石油焦原料選擇上首先要選用含雜質元素很少的煆燒後石油焦品種。其中，石油焦中的針狀焦品種較為理想。
隨著國產原油逐漸重質化、重質燃料油市場的縮小以及環保對汽油、柴油質量要求的提高，焦化已成為重要的渣油加工手段，越來越多的石油焦投放到市場。全球石油焦的消費量隨著原油生產和消費的增長而逐年增長。
2001年～2005年世界石油焦的產量年均增速為2%，世界石油焦供應增速減緩。美國是石油焦主要生產大國，其產量占世界總產量的61%；加拿大的石油焦世界占有率約為8%；南美石油焦主要生產地為巴西、阿根廷、委內瑞拉等國家，產品以電極焦為主，大部分供應美國市場；歐洲的石油焦基本自給自足；亞洲﹙不包括中國大陸﹚石油焦產量占世界總量6%，主要產地是科威特、印尼、中國台灣和日本等國家和地區。我國石油焦生產自20世紀90年代以來得到飛速發展，目前產量占世界總產量的10%。美國、俄羅斯、中東和東歐國家的石油焦均屬於高含硫焦。
目前，國內石油焦生產企業共有30多家，多數是中國石油、中國石化兩大集團的下屬企業，少數為地方小焦化企業。長期以來，除個別煉油廠外，我國加工的原油硫含量普遍偏低，所以國內市場上石油焦產品以中、低含硫石油焦為主。隨著我國煉油蜜桃AV成人永久免费加工進口中東等地區高含硫原油數量的增加，國內高含硫石油焦產量增加較快，目前約占石油焦總產量的20%。
目前，世界石油焦消費市場的結構為：煉鋼、電解鋁占46%，燃料占31%，電石占14%，原料占9%。
根據石油焦結構和外觀，石油焦產品可分為針狀焦、海綿焦、彈丸焦和粉焦
四種：
（1）針狀焦，具有明顯的針狀結構和纖維紋理，主要用作煉鋼中的高功率和超高功率蜜桃视频APP网站入口電極。由於針狀焦在硫含量、灰分、揮發分和真密度等方麵有嚴格質量指標要求，所以對針狀焦的生產工藝和原料都有特殊的要求。
（2）海綿焦，化學反應性高，雜質含量低，主要用於煉鋁工業及碳素蜜桃AV成人永久免费。
（3）彈丸焦或球狀焦：形狀呈圓球形，直徑0.6-30mm，一般是由高硫、高瀝青質渣油生產，隻能用作發電、水泥等工業燃料。
（4）粉焦：經流態化焦化工藝生產，其顆粒細﹙直徑0.1-0.4mm﹚，揮發分高，熱脹係數高，不能直接用於電極製備和碳素蜜桃AV成人永久免费。
根據硫含量的不同，石油焦可分為高硫焦﹙硫含量3%以上﹚和低硫焦﹙硫含量3%以下﹚。高品質的低硫焦的硫含量小於0.5%。
半導體工業用蜜桃视频APP网站入口製品有較低灰分、高純的性能要求，因此在石油焦原料選擇上首先要選用含雜質元素很少的石油焦品種。其中，石油焦中的針狀焦品種較為理想。
2.4半導體、光伏產業用蜜桃视频APP网站入口製品的主要特性
半導體、光伏產業用蜜桃视频APP网站入口製品的主要特性如下：
（1）    密度
蜜桃视频APP网站入口單晶的理論密度是2.26g/cm3，通常人造蜜桃视频APP网站入口的密度都在1.5-1.9g/cm3之間，固體的熱解碳的密度可達2.1g/cm3，純蜜桃视频APP网站入口的密度值是其質量除以體積  ﹙含所有的氣孔﹚所得的商。
（2）    機械強度
人造蜜桃视频APP网站入口不同於其它大部分的材料，它的抗張、抗折和抗壓強度會隨著溫度的升高而增大，當達到2200K之後，其強度會下降。在2200K時，蜜桃视频APP网站入口的強度值較室溫時高一倍。
一般用於半導體、光伏工業的蜜桃视频APP网站入口材料的抗壓強度達到90-150Mpa；抗折強度為40-65Mpa。
（3）    導電性
同其他金屬不同，蜜桃视频APP网站入口的電阻溫度係數是負數。蜜桃视频APP网站入口的導電性好。接近絕對零，隻擁有少數自由電子，本身可充當絕緣體，隨著溫度的上升，其導電性會增加。蜜桃视频APP网站入口的導電性較許多金屬要高，且隨著溫度的增加其數值下降。蜜桃视频APP网站入口的導熱性隨著其蜜桃视频APP网站入口化程度的不同而有所不同。
（4）    熱膨脹性
     蜜桃视频APP网站入口的熱膨脹係數以3×10-6K-1級排列，即隻相當於鐵的1/4。不同牌號的蜜桃视频APP网站入口其熱膨脹係數值會有所變化，也同蜜桃视频APP网站入口材料的各向異性及溫度有關。
（5）    比熱
蜜桃视频APP网站入口的比熱在500K-1500K溫度範圍內變化較大，它隨著溫度的增高，也有較大的增高。而不同牌號的蜜桃视频APP网站入口，其比熱變化很小。
（6）耐溫性
蜜桃视频APP网站入口不會熔化，但在3900K溫度時能耐溫至750K。蜜桃视频APP网站入口有非常好的抗熱衝擊性能，因此急速地加熱或冷卻，蜜桃视频APP网站入口都不會有問題。
﹙7﹚可加工性
蜜桃视频APP网站入口容易加工，其邊緣強度和耐磨性好。結構複雜、公差嚴格的部件都可以通過精加工獲得。蜜桃视频APP网站入口具有很好的耐浸潤性，它不會被熔化的玻璃或大部分金屬浸潤。
 
3.半導體、光伏產業用蜜桃视频APP网站入口製品的生產技術情況
3.1蜜桃视频APP网站入口製品的等靜壓成型生產技術
3.1.1等靜壓成型的主要設備
世界上最早的一台等靜壓機是由瑞典於1939年研製成功的。目前仍是等靜壓機出口國。我國最早使用的冷、熱等靜壓機，也是從該國引進的。等靜壓機最早使用在粉末冶金﹙包括硬質合金﹚和陶瓷工業上，後來為炭蜜桃视频APP网站入口材料蜜桃AV成人永久免费所采用。
等靜壓成型設備主要由彈性模具、高壓容器、框架和液壓係統組成。彈性模具一般用橡膠或樹脂合成材料製作，物料顆粒大小和形狀對彈性模具壽命有較大影響，模具設計是液等靜壓成型的關鍵技術問題，彈性模具與製品的尺寸和均質有密切關係。高壓容器多數是用高強度合金鋼直接鑄造後經機床加工而成的厚辟金屬筒體，其強度足以抵抗強大的液體壓力，筒體結構也有多數形式，如雙層組合筒體、預應力鋼絲繞加固筒體等。液壓係統由低壓泵、高壓泵和增壓器及各種閥門組成，開始由流量較大的低壓泵供油，達到一定壓力後由高壓泵供油，並由增壓器進一步增加高壓容器內的液體壓力。
等靜壓機目前已有冷等靜壓﹙常溫下使用﹚、溫等靜壓﹙介質溫度為80-100℃）和熱等靜壓（介質溫度為1000℃以上﹚三種。
等靜壓成型設備又分兩種類型，即濕袋法冷等靜壓機和幹袋法冷等靜壓機。
﹙1﹚    濕袋法冷等靜壓機
此法將模具懸掛在高壓容器內，根據產品尺寸大小可裝入若幹個模具，適用於批量小、尺寸不大、外形較複雜的產品生產碳素製品主要用濕袋法冷等靜壓機。
﹙2﹚幹袋法冷等靜壓機
此法適用於尺寸較大、生產量大的製品，此時冷等靜壓機設備也與濕袋法所用冷等靜壓機有區別。它增加了壓力衝頭、限位器和頂料器，此法將彈性模具固定在高壓容器內，用限位器定位，因此又稱為固定模法，生產時用壓力衝頭將料粉裝入模具內並封閉上口加壓時，液體介質注入容器內的彈性模具外圍，對模具加壓脫模時不必取出模具，用頂料機構頂出成型後的生坯，批量生產特種耐火材料多用這種等靜壓設備。
等靜壓設備的關鍵部件是缸體，通常承受壓力為200MPa，據悉，已能製造最高可達1050MPa的缸體。缸體最早是整體澆鑄，目前多數采用鋼絲預應力纏繞而成。隨著產品規格的大型化，缸體直徑不斷向大型化發展。目前，日本東洋碳素株式會社已能批量生產φ1500×2000mm的等靜壓蜜桃视频APP网站入口。據悉擬開發直徑φ2000mm的產品。
我國在上世紀70年代開始製造單壓200MPa,缸體直徑為200mm的等靜壓機。80年代已能批量生產直徑500mm和800mm的等靜壓機。目前已能生產直徑1250mm，有能力生產直徑為1500mm的等靜壓機。
等靜壓機除用於壓製成型以外，用作瀝青浸漬裝置，效果十分明顯。將製品與瀝青裝於密封的金屬鋁皮中，放在熱等靜壓機內，采用氣體介質，升溫，加壓，直到瀝青全部焦化為止。製品將得到最大的浸漬增重。這是因為不僅瀝青能進入製品的全部氣孔，而且沒有通常設備中，減壓後瀝青外溢和焙燒時瀝青外滲現象。
3.1.2等靜壓成型的工藝操作
等靜壓成型工藝操作過程如下：
（1）模具準備模具應選擇耐油耐熱的材料，如用天然橡膠製成的模具浸在變壓器油內隻能使用1-2次，因此以變壓器油為壓力介質時一般選用耐油性較好的氯丁橡膠，也可以選用聚氯乙烯塑料薄膜製成模具。
（2）裝料裝入模具的原料有多種，如末煆燒過的生石油焦粉末﹙可不用粘結劑﹚，煆燒過的石油焦粉與瀝青混捏成的糊料磨粉後使用。煆燒過的石油焦磨成粉丙與粉狀瀝青混合後使用不同的原料及配比可以獲得不同的成型效果及不同的物理機械性能裝料時應同時振動，使粉狀原料在模具內初步密實裝完料後用手工對模具適當整形，然後將模具另一端塞上橡膠塞或塑料塞，並用鐵絲紮緊，防止液體介質侵入模具，為了使粉料中的氣體能在受壓時充分排出，預先在粉料中插入排氣管，並外接真空泵抽氣生產某些球形產品時，則應先將粉料用模壓法預壓成球體，再置入相應尺寸的等靜壓成型模具內；最後把裝好粉料的模具置於高壓容器中，密封高壓容器入口後進行加壓。
（3）升壓及降壓啟動高壓泵，將液體介質注入高壓容器，並密切注意升壓及排氣情況加壓一般采取分階段逐步進行，例如，先將壓力升至5MPa,保持一段時間，使模具內氣體部分排出，此時，粉料受壓體積收縮，因此高壓容器內壓力略有下降以後再次升壓至20MPa左右，排出部分氣體後粉料體積再次收縮，然後再一次升高壓力到所需的工作壓力，並在選定的高壓下保持20-60min後再降壓待壓力降至常壓時，打開高壓容器入口後取出模具還可以采用對高壓容器加熱的辦法升壓，因液體受熱體積膨脹，加熱後壓力自動升高，但這種壓力自動升高有一定的限度。